| 术语 | electron_beam_lithography |
| 释义 | electron beam lithography 电子束石版印刷术 这是一种比较复杂而且高价的石版印刷处理方法，将放射敏感胶片放到一个装有扫描束电子显微镜的真空槽里面，用一个由数位电脑控制的电子束来使胶片感测，经感测後的胶片，自真空槽中移出来，供作进一步的处理或其他生产上必须的处理。 |
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